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    大範圍壓電掃描台Carrier.S200.XY

    • 產品型號：
    • 產品時間：2024-05-21
    • 簡要描述：室溫 ·壓電運動⽅案 —“Carrier. 係列“ ⼤⾏程掃描載物台 — 精密光學，半導體表征
    • 產品介紹

    室溫 ·壓電運動⽅案 —“Carrier. 係列“ ⼤⾏程掃描載物台 — 精密光學，半導體表征


    ⼤範圍壓電掃描台Carrier.S200.XY產品特⾊

    • 兩維度XY 掃描運動 200 um × 200 um；

    • 閉環定位精度優於 1nm；

    • 最⼤負載 500 g；

    • 針對光學顯微鏡-超分辨定製化解決⽅案；

    • ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)選件升級


    Carrier.S200.XY ⼤範圍壓電掃描台 — 技術參數
     

    可選版本 ⇨

    正常版本

    .NM     絕對⽆磁版本；

    .HV，     ⾼真空版本 ;

    .UHV ，超⾼真空版本；

    1           底⾯尺⼨*⾼度

    180 mm × 150 mm × 20 mm

    2           主體材料

    鋁合⾦

    3            中空透孔

    80 mm × 60 mm

    4           運動⾏程

    200 um × 200 um

    5            閉環分辨率

    優於1nm

    6           推薦最⼤負載

    500 g

    7            閉環傳感器

    電容式

    8            電容精度

    0.3 nm

    9           壓電電容(X, Y)

    6.5 uF

    15 到 40 攝⽒度

    10          推薦使⽤溫度

    11          質量

    1 kg

    12          安裝

    螺紋孔⾃動兼容 Carrier.L7550.XY

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